A Dielectric Waveguide Made of the High-Resistance Silicon and the Circuitry Based on This Waveguide

M. P. Parkhomenko; Пархоменко М. П.; D. S. Kalenov; Калёнов Д. С.; I. S. Eremin; Еремин И. С.; N. A. Fedoseev; Федосеев Н. А.

doi:10.31857/S0033849423020110

Диэлектрический волновод из высокоомного кремния и элементная база на его основе

Авторы: Пархоменко М.П.¹, Калёнов Д.С.¹, Еремин И.С.¹, Федосеев Н.А.¹
Учреждения:
1. Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН
Выпуск: Том 68, № 2 (2023)
Страницы: 171-176
Раздел: ЭЛЕКТРОНИКА СВЧ
URL: https://medbiosci.ru/0033-8494/article/view/138117
DOI: https://doi.org/10.31857/S0033849423020110
EDN: https://elibrary.ru/LCSTFO
ID: 138117

Цитировать

Полный текст

Аннотация
Об авторах
Список литературы
Дополнительные файлы
Статистика

Аннотация

На основе диэлектрического волновода из высокоомного кремния разработаны оптически и механически управляемые аттенюаторы и электрически управляемый фазовращатель. В полосе частот 26…37 ГГц теоретически и экспериментально определены характеристики волновода и разработанных элементов на его основе.

Ключевые слова

attenuators, phase shifters, dielectric waveguide, high-resistance silicon

Список литературы

Marcuse D. Theory of Dielectric Optical Waveguides. N.Y.: Academic Press, 1974.
Wolff I., Solbach K. Dielektrische Bildleutungen. Aachen: Verlag H. Wolff, 1982.
Knox R.M. // IEEE Trans. 1976. V. MTT-24. № 11. P. 806.
Вершинина Л.Н., Мериакри В.В. // РЭ. 1980. Т. 25. № 7. С. 1348.
Jacobs H., Chrepta M.M. // Proc. IEEE-G-MTT Int. Microwave Symp. Boulder 4–6 Jun. 1973. N.Y.: IEEE, 1973. P. 28.
Усанов Д.А., Вагарин А.Ю., Ушаткин Е.Ф. // Электрон. техника, сер. Электроника СВЧ. 1980. Вып. 9. С. 56.
Мериакри В.В., Пархоменко М.П. // Электромагнитные волны и электрон. системы. 1996. Т. 1. № 1. С. 88.
Мериакри В.В., Пархоменко М.П., Дудоров С.Н. // Зарубеж. радиоэлектроника. Успехи совр. радиоэлектроники. 1999. № 9. С. 28.
Marcatiliy E.A.J. // BSTJ. 1969. V. 48. № 7. P. 2071.