Влияние алюминия на структуру и электрические свойства аморфных алмазоподобных кремний-углеродных пленок - PDF (Русский)
© А.И. Попов, А.Д. Баринов, В.М. Емец, Д.А. Зезин, Т.С. Чуканова, В.П. Афанасьев, М.А. Семенов-Шефов, В.А. Терехов, Э.П. Домашевская, М.Ю. Пресняков, М.А. Шапетина, 2023

