МОДЕРНИЗИРОВАННЫЕ МНОГОСЛОЙНЫЕ ЗЕРКАЛА НА ОСНОВЕ РУБИДИЯ ДЛЯ РАБОТЫ В ДИАПАЗОНЕ ДЛИН ВОЛН ИЗЛУЧЕНИЯ 11.4–17 нм

Обложка

Цитировать

Полный текст

Открытый доступ Открытый доступ
Доступ закрыт Доступ предоставлен
Доступ закрыт Только для подписчиков

Аннотация

В работе представлены результаты теоретического моделирования отражательной способности многослойных зеркал на основе рубидия и его соединений, предназначенных для работы в диапазоне длин волн излучения 11.4–17 нм и представляющих интерес для современной литографии и рентгеновской астрономии. С помощью генетического алгоритма решена задача оптимизации многослойной конструкции таких зеркал для достижения максимума отражения, представлено сравнение теоретических коэффициентов отражения, полученных в настоящей работе, с современными разработками многослойных рентгеновских зеркал в характерных областях излучения 11.4, 13.5, 17 нм. Из-за высокой химической активности чистого рубидия предложено использование более стабильного соединения для потенциальной практической реализации рубидий-содержащих зеркал. Показано, что использование карбида бора между основными слоями зеркала приводит к существенному увеличению их и готового коэффициента отражения и может быть рассмотрено как барьерный метод предотвращения взаимодиффузии между материалами. Однако требуется экспериментальная проверка данной гипотезы. Интегральное отражение оптической системы, содержащей несколько многослойных зеркал, существенно зависит от повышения отражательной способности одного зеркала, таким образом обоснована перспективность использования предложенных зеркал в оптической системе современного литографа.

Об авторах

М. А. Ямщикова

Институт лазерно-физических исследований; МГУ им. М.В. Ломоносова

Email: ya_maria94@mail.ru
Саров, Россия; Саров, Россия

В. М. Ямщиков

Институт лазерно-физических исследований

Саров, Россия

Список литературы

  1. Вишняков Е.А., Воронов Д.Л., Гулликсон Э.M., Кондратенко В.В., Копылец И.А., Лугинин М.С., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н., Шатохин А.Н. // Квантовая электроника. 2013. Т. 43. № 7. С. 666. https://www.doi.org/10.1070/QE2013v043n07ABEH015128
  2. Henke B.L., Gullikson E.M., Davis J.C. // Atomic Data and Nuclear Data Tables. 1993. V. 54. № 2. P. 181.
  3. X-Ray interactions with matter (2023) The Center for X-Ray Optics. http://henke.lbl.gov/optical_constants/
  4. Мишетт А. Оптика мягкого рентгеновского излучения. М.: Мир, 1989. 352 с.
  5. Зеркальная рентгеновская оптика. / Ред. Виноградов А.В. Ленинград: Машиностроение, 1989. 463 с.
  6. Гарахин С.А., Лопатин A.Я., Нечай А.Н., Перекалов А.А., Пестов А.Е., Салащенко Н.Н., Цыбин Н.Н., Чхало Н.И. // Журнал технической физики. 2023. Т. 93. № 7. С. 1002. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2023.07.55760.60-23
  7. Полковников В.Н., Шапошников Р.А., Чхало Н.И., Салащенко Н.Н., Дюжев Н.А., Пудонин Ф.А., Демин Г.Д. // Краткие сообщения по физике ФИАН. 2021. №12. С. 58.
  8. Шапошников Р.А., Зуев С.Ю., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И. // Журнал технической физики. 2022. Т. 92. № 8. С. 1179. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2022.08.52780.124-22
  9. Гайсин А.У. Формирование межфазной границы в многослойных наноструктурах Mo/Si и Mo/Be: влияние барьерных слоев и температуры отжига на ее состав, протяженность и отражающую способность зеркал: Диссертация канд. физико-математических наук: 1.3.8. Санкт-Петербург: Санкт-Петербургский государственный университет, 2021. 302 с.
  10. Montcalm C., Bajt S., Mirkarimi P.B., Spiller E., Weber F.J., Folta J.A. // Proc. SPIE. 1998. V. 3331. P. 42.
  11. Chkhalo N.I., Gusev S.A., Nechay A.N., Pariev D.E., Pestov A.E., Polkovnikov V.N., Tatarskiy D.A., Salashchenko N.N., Schäfers F., Sertsu M.G., Sokolov A., Vainer Y.A., Zorina M.V. // Opt. Exp. 2018. V. 26. № 26. P. 33718. https://www.doi.org/10.1364/OE.26.033718
  12. Smertin R.M., Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Garakhin S.A., Zuev S.Yu., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Yunin P.A. // Opt. Exp. 2022. V. 30. № 26. P. 46750. https://www.doi.org/10.1364/OE.475079
  13. Chkhalo N., Gusev S., Nechay A., Pariev D., Polkovnikov V., Salashchenko N., Schäfers F., Sertsu M., Sokolov A., Svechnikov M., Tatarsky D. // Opt. Lett. 2017. V. 42. № 24. P. 5070. https://www.doi.org/10.1364/OL.42.005070
  14. Chkhalo N.I., Pariev D.E., Polkovnikov V.N., Salashchenko N.N., Shaposhnikov R.A., Stroulea I.L., Svechnikov M.V., Vainer Yu.A., Zuev S.Yu. // Thin Solid Films. 2017. V. 631. P. 106. https://www.doi.org/10.1016/j.tsf.2017.04.020
  15. Кузин С.В., Рева А.А., Богачев С.А., Ерхова Н.Ф., Салащенко Н.Н., Чхало Н.И., Полковников В.Н. // Журнал технической физики. 2020. Т. 90. № 11. С. 1817. https://www.doi.org/10.21883/JTF.2020.11.49967.113-20
  16. Плющев В.Е., Степин Б.Д. Химия и технология соединений лития, рубидия и цезия. М.: Химия, 1970. 408 с.
  17. Диаграммы состояния двойных металлических систем. Том 3. / Ред. Лякишев Н.П. М.: Машиностроение, 2001. 972 с.
  18. Сахоненков С.С. Изучение влияния материала барьерного слоя и температуры отжига на процесс формирования межслоевых областей в многослойных короткопериодных рентгеновских зеркалах на основе бериллия: Диссертация канд. физико-математических наук: 1.3.8. Санкт-Петербург: Санкт-Петербургский государственный университет, 2022. 302 с.
  19. Панченко Т.В. Генетические алгоритмы: учебно-методическое пособие. / Ред. Тареевич Ю.Ю. Астрахань: Астраханский университет, 2007. 87 с.
  20. Вайнер Ю.А., Гарахин С.А., Зуев С.Ю., Нечай А.Н., Плешков Р.С., Полковников В.Н., Салащенко Н.Н., Свечников М.В., Сертсу М.Г., Смертин Р.М., Соколов А., Чхало Н.И., Шаферс Ф. // Поверхность. Рентген., синхротр. нейтрон. исслед. 2020. № 2. С. 3. https://www.doi.org/10.31857/S1028096020020168

Дополнительные файлы

Доп. файлы
Действие
1. JATS XML
Скачать

© Институт физики твердого тела РАН, Российская академия наук, 2025

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).