Abstract of the thematic block

Cover Page
  • Issue: Vol 118, No 2 (2023): THEMED SECTION: FUNDAMENTAL PROBLEMS OF MULTILEVEL METALLIZATION SYSTEMS FOR ULTRA-LARGE INTEGRATED CIRCUITS
  • Pages: 9-12
  • Section: THEMED ISSUE EDITOR’S COLUMN
  • URL: https://medbiosci.ru/1605-8070/article/view/301034
  • ID: 301034

Cite item

Full Text

References

Supplementary files

Supplementary Files
Action
1. JATS XML
Download

Copyright (c) 2023 Sigov A.S.

Согласие на обработку персональных данных

 

Используя сайт https://journals.rcsi.science, я (далее – «Пользователь» или «Субъект персональных данных») даю согласие на обработку персональных данных на этом сайте (текст Согласия) и на обработку персональных данных с помощью сервиса «Яндекс.Метрика» (текст Согласия).